常用的防靜電測(cè)試儀器有如下：

表面電阻測(cè)試儀

用于測(cè)量防靜電地板、防靜電工作表面、防靜電貨架、防靜電椅子、防靜電周轉(zhuǎn)箱、防靜電推車、防靜電鞋子、防靜電衣服、防靜電帽子、防靜電腕帶和防靜電手套等的表面阻抗和對(duì)地阻抗。

儀器型號(hào)：Warmbier Metriso 2000和Metriso B530

充電板監(jiān)測(cè)儀

用于測(cè)量離子發(fā)生器的衰減時(shí)間和殘余電勢(shì)。

儀器型號(hào)：Kleinwachter CPM 374

行走電壓測(cè)試儀

用于測(cè)量人在防靜電地板上行走時(shí)產(chǎn)生的人體電壓。

儀器型號(hào)：Warmbier WT 5000

靜電場(chǎng)測(cè)試儀

用于測(cè)量物體表面的靜電場(chǎng)強(qiáng)度。

儀器型號(hào)：Warmbier EFM 51、SIMCO FMX-003和TREK Model 876

接觸式靜電壓測(cè)試儀

用于精確地測(cè)量ESDS產(chǎn)品的靜電壓，并且可以消除周邊靜電場(chǎng)強(qiáng)度的影響，對(duì)于ESD定期測(cè)試中的Device和EF測(cè)量和分析都是非常有價(jià)值的儀器。

儀器型號(hào)：PROSTAT CVM-780

萬用表

用于測(cè)量被測(cè)導(dǎo)體和接地點(diǎn)之間的對(duì)地電阻值

儀器型號(hào)：FLUKE 15b

人員接地測(cè)試儀

用于測(cè)量人員穿戴防靜電鞋子和防靜電腕帶的系統(tǒng)阻抗，可以與門禁滾軋配合使用。

儀器型號(hào)：Warmbier PGT 120

靜電測(cè)試儀適用于bai測(cè)量帶電物體的靜電電壓（電位）du,如導(dǎo)體zhi、絕緣體、及人體等的靜電電位。還可測(cè)量液面電位及檢測(cè)防靜電產(chǎn)品性能等... 是一非接觸式手提靜電場(chǎng)測(cè)試儀，內(nèi)置微控處理器，測(cè)量精確，但體積輕巧和使用簡(jiǎn)便。

測(cè)試靜電的方法 ：

1、防靜電接地線全部使用6m㎡多股銅芯絕緣線，每樓層或適當(dāng)區(qū)段用銅排或40A以上開關(guān)，閘刀與主干線相連，以利檢查維修。

2、防靜電接地線纜應(yīng)與設(shè)備外殼，工作臺(tái)鐵架，工作燈架等良好絕緣，防止短路，搭連或破皮連接。

3、于分段銅排或開關(guān)的"干線端"，另鋪一條檢查線.(1.5~2m㎡即可)，每車間設(shè)2~3檢查點(diǎn)，固定好，標(biāo)識(shí)清楚。

4、測(cè)量：使用指針式萬用表，電阻檔。

各防靜電測(cè)試點(diǎn)與防靜電地線間電阻5~15Ω，理想應(yīng)為0Ω.但實(shí)際測(cè)得為2m㎡，導(dǎo)線從測(cè)試點(diǎn)到總結(jié)點(diǎn)電阻+6m㎡，導(dǎo)線從總結(jié)點(diǎn)到被測(cè)點(diǎn)電阻之和，這一值約5-15Ω且基本不變，如測(cè)量結(jié)果趨于無窮大，是為防靜電地線或測(cè)量線有一條斷線，應(yīng)及時(shí)修好。

防靜電接地線與設(shè)備地間電阻，這一阻值為防靜電地線本身線阻+設(shè)備地線本身線阻+兩地線間地電阻組成.但兩接地線間由于地面干濕程度，尤其地電流，每時(shí)每刻大小方向頻率等都在變。

而且主要決定測(cè)量結(jié)果，故只能用指針表測(cè)量，且其值從十幾歐到幾百K都算正常，僅說明兩地間未短路也未開路即可。